【真空泵廠家】旋片式真空泵常見(jiàn)故障

時(shí)間：2021-08-21作者：上海福豫機(jī)械設(shè)備有限公司瀏覽：92

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• 詞條

  詞條說(shuō)明

• 真空泵廠家 羅茨泵的工作原理

  羅茨泵工作原理分子泵 分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都采用復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速僅為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱之為低溫分子泵，水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)

• 【上海真空泵廠家】使用真空泵的注意事項(xiàng)

  使用真空泵的注意事項(xiàng)1.?正常運(yùn)傳前，真空泵應(yīng)先做一次試運(yùn)轉(zhuǎn)，檢查真空泵有無(wú)異常振動(dòng)及沖擊聲響。初次使用的真空泵還要測(cè)定真空泵的極限壓強(qiáng)，應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范。真空泵在*工作的條件下，真空泵溫不應(yīng)**過(guò)70度。至于抽速的測(cè)定.由于比較復(fù)雜，一般不作檢查。2.?需要通冷卻水的機(jī)械真空泵.在開(kāi)機(jī)前應(yīng)先通冷卻水，然后再啟動(dòng)。冷卻水的出口水溫不宜**過(guò)30度。3.?*安裝真空泵時(shí)，應(yīng)檢

• 【工業(yè)真空泵廠家】單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍

  單級(jí)旋片式真空泵-適用范圍1、XD型單級(jí)旋片式真空泵適用于密閉系統(tǒng)的抽真空使用。如真空包裝、真空成形、真空吸引。2、入口壓力范圍：100Pa~100000Pa，出此范圍工作真空泵排氣口將有油霧產(chǎn)生。XD型旋片式真空泵工作環(huán)境溫度和吸入氣體溫度應(yīng)在5℃~40℃之間。3、XD型旋片式真空泵不能抽除水或其它液體。不能抽除易爆、易燃、含氧量過(guò)高的、腐蝕性的氣體。3、真空泵葉片碎裂不會(huì)產(chǎn)生真空，需換葉片。4

• 【上海真空泵】 旋片式真空泵的裝配步驟

  旋片式真空泵裝配步驟1、旋片式真空泵裝上泵部的排氣閥、擋油板等零件。2、把泵部、鍵、聯(lián)軸節(jié)、電機(jī)裝在支座上3、用紗布擦凈零件，防止回絲堵塞油孔，較好用清洗液和刷子清洗。4、低級(jí)轉(zhuǎn)子裝配方法同上。5、插入進(jìn)氣咀，氣鎮(zhèn)閥，裝上法蘭固緊。旋片式真空泵的介紹旋片真空泵是以泵為主泵，以旋片真空泵為前級(jí)泵的串聯(lián)而成的。旋片真空泵選用的旋片泵作為前級(jí)泵，因此它克服了旋片真空泵在使用時(shí)一定壓力下的抽氣速率低的缺點(diǎn)